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大部分加热与隔热材料只能在直空状态下使用：典空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，因而对这此材料一提出了耐高温，蒸汽压低，辐射效果好，导热系数小等要求，氧化性能要求不高，所以，典空热处理炉广泛地采用了钨、铂和石墨等作加热与隔热构料、这此材料在大气状态下极易轨化，因此，常规热处理炉是不能采用这此加热与隔热材料。
采用低电压大电流：石真空容器内，真空容器内的通电导体拍较高的电压下，会产生辉光放电现象，在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和报失，因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80—100伏，同时在电热儿件结构设计时要采取有效措施，如尽最避免有尖端的部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。
水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件，分别处置（水冷电极）、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作，在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、小损坏，了黔空密封圈不过热、不烧毁，因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有够的使用寿命。
真空炉的结构、加热工艺、温度控制和炉内气氛等，都会直接影响加工后的产品质量。在锻造加热炉内，提高金属的加热温度，可以降低变形阻力，但温度过高会引起晶粒长大、氧化或过烧，严重影响工件质量。在热处理过程中，如果把钢加热到临界温度以上的某一点，然后突然冷却，就能提高钢的硬度和强度;如果加热到临界温度以下的某一点后缓慢冷却，则又能使钢的硬度降低而使韧性提高。
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